CAS号 879-15-2 - 2-diazonionaphthalen-1-olate - 摩贝百科

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: 2-diazonionaphthalen-1-olate

英文名称：2-diazonionaphthalen-1-olate

CAS：
879-15-2
分子式：C10H6N2O

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2-diazonionaphthalen-1-o...简介

Diazonaphthoquinone (DNQ) is a diazo derivative of naphthoquinone. Upon exposure to light, it undergoes a Wolff rearrangement to form a ketene. This chemical reaction is exploited with a variety of diazonaphthoquinone derivatives in the semiconductor industry.
Diazonaphthoquinone sulfonic acid esters are commonly used as components of photoresist materials for semiconductor manufacturing. In this application DNQs are mixed with Novolac resin, a type of phenolic polymer. The DNQ functions as a dissolution inhibitor. During the masking/patterning process, portions of the photoresist film are exposed to light while others remain unexposed. In the unexposed regions of the resist film, the DNQ acts as a dissolution inhibitor and the resist remains insoluble in the aqueous base developer. In the exposed regions, the DNQ forms a ketene, which, in turn, reacts with ambient water to form a base soluble indene carboxylic acid. The exposed regions of the photoresist film become soluble in aqueous base; thus allowing the formation of a relief image during development.

2-diazonionaphthalen-1-o...基本信息

中文名称	2-diazonionaphthalen-1-olate	英文名称	2-diazonionaphthalen-1-olate
中文别名	查看更多中文别名	英文别名	1-Diazo-1,2-dyhydronaphthalen-1-on; 1,2-naphthaquinone-2-diazide; 2-diazo-1,2-naphthoquinone; 2-Diazo-1-oxo-1,2-dihydronaphthalen; Diazonaphthoquinone; 1,2-Naphthoquinone diazide; 1-oxo-2-diazo-1,2-dihydrobenzene; 1-Oxo-2-diazo-1,2-dihydronaphthalen; 查看更多英文别名
CAS号	879-15-2	分子式	C10H6N2O
分子量	170.16700	精确质量	170.04800
PSA	54.46000	LOGP	1.64796

合成路线

共找到5条合成路线

90-15-3

1-萘酚

879-15-2

2-diazonionaphthalen-1-olate

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: 2-diazonionaphthalen-1-olate
CAS号：879-15-2 分子式：C10H6N2O 分子量：170.16700

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